臭氧是無毒物質(zhì)安全氣體，談到它的毒性主要是其強(qiáng)氧化能力，在濃度高于1.5ppm以上時(shí)，人員須離開現(xiàn)場，原因是臭氧刺激人的呼吸系統(tǒng)，造成呼吸系統(tǒng)的應(yīng)激性反應(yīng)，嚴(yán)重的會造成可逆性傷害，為此，國際臭氧協(xié)會（IOA）制定衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)：國際臭氧協(xié)會：0.1ppm，接觸10小時(shí)；美國：0.1ppm，接觸8小時(shí)；中國：0.15ppm，接觸8小時(shí)，臭氧濃度在0.02ppm時(shí)，嗅覺靈敏的人便可覺察，稱為感覺臨界值，濃度在0.15ppm時(shí)為嗅覺臨界值，一般人都能嗅出，也是衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)點(diǎn)。當(dāng)濃度達(dá)到1～10ppm時(shí)，稱為刺激范圍。事實(shí)上安全使用臭氧完全可以保證人的健康不受危害。臭氧應(yīng)用一百多年來，至今世界上無一例因臭氧中毒死亡事故發(fā)生。
    在具體使用中，臭氧消毒過程應(yīng)與人員隔離，一般的臭氧發(fā)生裝置都是自動控制的，只要設(shè)定好相關(guān)參數(shù)，即可以實(shí)現(xiàn)無人職守，這與化學(xué)消毒劑噴霧消毒需要專門培訓(xùn)過的人員現(xiàn)場操作相比，對人員的身體健康更有保證。
    臭氧具有很強(qiáng)的氧化性，臭氧可以氧化很多金屬，鋁、鋅、鉛與臭氧接觸會產(chǎn)生氧化腐蝕，但含25%Cr的鉻鐵合金（不銹鋼）基本上不會受臭氧腐蝕。
    臭氧對普通橡膠腐蝕作用最大，所以在應(yīng)用中應(yīng)使用耐腐蝕的硅橡膠或添加耐腐劑的橡膠制品。
    臭氧發(fā)生一般采用高壓電源供電，所以在有導(dǎo)電氣體或含烴類介質(zhì)存在的環(huán)境中應(yīng)杜絕使用，使用人員須按操作規(guī)程安全執(zhí)行。